熒光分析X射線是確定物質中微量元素的種類和含量的一種方法。它用熒光分析X射線管輻射激發待分析樣品中的原子，使原子發出標識X射線（熒光），通過測量這些標識X射線的能量和強度來確定物質中微量元素的種類和含量。根據激發源的不同，可分成帶電粒子激發X熒光分析，電磁輻射激發X熒光分析和電子激發X熒光分析。 

　　在波長色散X射線光譜儀中，由于使用分光晶體，是的待測元素的分析譜線可以較好分離，故通過使用分辨率較低的流氣式正比計數器和NaI閃爍技術器作為X射線探測器。分光晶體與低分辨率探測器的結合應用，使得波長色散X射線光譜儀的整體分辨率要優于使用常規半導體Si探測器的能量色散X射線光譜儀。

　　由于同步輻射具有強度高、準直好、偏振性、波長連續可調等優點，使得同步輻射X射線熒光分析比常規X射線熒光分析，具有更高的靈敏度和更小的微區分析能力，可以解決一些常規X光源不能解決的科研和實際應用問題?？梢赃M行各種材料的微區、微量元素的無損成分分析，譜的信噪比與改造前的白光譜相比提高了近兩個數量級。在微束熒光分析方面，已可以達到空間分辨10~50mm，可以開展例如單個流體地質包裹體的無損成分分析，單個生物細胞的無損成分分析，以及其它領域各種細微材料的無損成分分析。利用雙晶單色器和超環面鏡組合系統的單色光掠入射到樣品的全反射方法。此外，近期擬對用戶開放過渡金屬的共振非彈性X射線散射實驗。

　　暗電流是指在有光射在光陽極上時光電倍增管的輸出電流。暗電流的產生是由光陰極表面的熱電子發射及電極之間的所加電壓而產生的漏電流。因此，降低溫度及降壓都能降低暗電流。光電倍增管的暗電流越小，質量越好。