初期的X射線探測器是無能量分辨能力的蓋革計數器，現在已發展處了多種類型、不同用途，并具有幾號分辨率的各種X射線探測器。特別是近幾年，隨著太空探測技術和超導材料研究的進步，X射線能量探測器技術取得了顯著的進展。目前除了正比計數器、閃爍計數器及Si（Li）探測器等廣泛應用于各種商用儀器外，各種基于半導體原理及超導性等制成的能量探測器也取得了顯著進步。

　　電磁輻射激發X熒光分析，簡稱EDXRF。電磁輻射激發一般用X射線管或X射線熒光分析Fe、238Pu、X射線熒光分析Cd、241、X射線熒光分析Co等放射性同位素作激發源。這時它的探測極限雖不及PIXE，但制樣簡便，常?？梢灾苯臃治鲈紭悠?，而且既能分析低含量樣品，又能分析高含量樣品，因此應用更為廣泛。X射線在物質中的穿透能力較大,故能測量較厚樣品中的元素平均含量。熒光分析X射線管當使用放射性同位素作激發源時能夠制成便攜式的儀器，不僅可用于實驗室，還可以用于工廠、野外地質和礦山。當使用電子同步加速器或電子儲存環發出的高強度偏振輻射作激發源時，探測極限比PIXE好幾個數量級。若再使用晶體單色器，還可以制成同步輻射X射線微探針，進行微區分析。

　　光電倍增管的靈敏度有兩種，一種是陰極靈敏度，另一種是陽極靈敏度。陰極靈敏度是指單位光輻射在光陰極上產生光電流的大小，它是由所用光陰極材料決定的。陽極靈敏度是指光電倍增管在一定外加電壓作用下單位光輻射產生的陽極輸出電流。陽極靈敏度是隨著外加電壓大小而改變的。這兩種靈敏度是選用PMT的重要參數。

　　X射線探測器的作用是將X射線光子的能量轉換成易于測量的電信號。在入射X射線與探測器活性材料的相互作用下產生光電子，由這些光電子形成的電流經電容和電阻產生脈沖典雅，脈沖典雅的大小與X射線光子的能量成正比，好的探測器經常要求兩字計數效率和分辨率高，線性和正比性好。